MKS臭氧（yǎng）發生（shēng）器AX8415、AX8410和AX8400區別

ALD和ALE工藝是要求臭氧技術持續進步的（de）主要應用。如上所述，同（tóng）時滿（mǎn）足應用流程（chéng）和濃（nóng）度要求以及OEM的（de）係（xì）統設計要求是臭氧發生器和係統（tǒng）技術開發的驅動力。MKS的臭氧發（fā）生器和集成係統產（chǎn）品組合在推進臭（chòu）氧技術以滿足這些要求方麵有著悠久的曆史（shǐ）。所有MKS臭氧發生器均采用介質阻（zǔ）擋放電（diàn）法生產（chǎn）臭氧。隨著時間的推移，放電池結構的進步提高了臭氧濃度，同時擴大了臭氧生（shēng）產的範圍，並確保其先進性。

圖1顯示了MKS臭（chòu）氧發生器技術基（jī）於臭氧產量的（de）進步穩步增加。例如，MKS Instruments AX8400係列臭氧發生器是一種高度可配置的發生器，可滿足高達250克/小時的要（yào）求。MKS的AX8415和AX8410發電機的（de）目標應用是（shì）在緊湊的（de）外形中要求高濃度和高（gāo）流動狀態。AX8415和AX8410旨在生產超清潔（jié）、高濃度的臭氧。MKS在AX8415和AX8410型號中引入的臭氧電池設計能夠支持濃度高（gāo）達425 g/Nm3（27.1 wt%）的臭氧輸送，流（liú）速高達80 slm。

客戶需要不斷優化其安裝基座的壽命，因此，更新的發電機設計可以方便（biàn）地與AX8415發電機集成，這是MKS設計的臭氧（yǎng）係統中SEMOZON®AX8407發電機的直接替代品。MKS Instruments設（shè）計的產品滿足設備（bèi）製（zhì）造商的臭氧輸送應用要（yào）求（qiú），提供完全集成的（de）臭氧輸送係統，包括單個或多個發（fā）生器，具有集成的臭氧（yǎng）監測和安全裝置以及可選的臭（chòu）氧銷毀裝置。這（zhè）些係統是使用專有和適應性材料設計的，以滿（mǎn）足半導體環境和質量標準。例如，氧化膜工藝可能需要三（sān）個或四個獨立發生器的（de）臭氧係統配置，以5至10slm將250g/Nm3的臭氧輸（shū）送到三室或四室ALD工具。

另一個例子是25至50片的垂直間歇式反應器，其可能需要180至200g/Nm3的70至100slm的臭氧。用於批量（liàng）ALD應用的臭氧係統需要具有單個輸出或一個通（tōng）道的多發生器臭氧係統的支持。係統中的每個額外的發生器都擴展了給定濃度的流量範圍。例如，單個AX8415發生器在15slm下產生300g/Nm3的臭氧濃度（dù）。另一台發電機的加入使係統的輸出在30slm時提高到300g/Nm3。因此，四（sì）發生（shēng）器單通道係統能夠在60 slm下達到300 g/Nm3。通過增加發電機，臭氧濃度（dù）保持不變；然而，產生的臭氧總量顯著增加。MKS為所有生產ALP設備的原始設（shè）備製（zhì）造商提供臭氧輸（shū）送係統。MKS臭氧輸送係統與立式爐、空間ALD工（gōng）具和腔室沉積係統一起使用。每個臭氧（yǎng）輸送係統都有其特定的（de）應用要求，與主要（yào）工藝工具的要求（qiú）相一致，以確保很終（zhōng）用戶能（néng）夠沉積很高質量的薄膜或去除特定的原子層。